Services
|
技術參數 |
||
|
工作(zuo)溫(wen)度(du)[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
|
最高(gao)淬火(huo)壓力(li)(絕對(dui)值) |
12 |
1.9 |
|
工作真空度范圍[mbar] |
||
|
低真空 |
10-1 |
10-1 |
|
高真空 |
10-4 |
10-5 |
|
有效工(gong)作區(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
|
最大裝(zhuang)爐(lu)量[kg] |
800 |
1350 |
|
加熱元件(jian)材料 |
石墨 |
鉬 |
|
隔熱層 |
特殊(shu)石(shi)墨氈(zhan)，可選擇(ze)覆(fu)蓋CFC |
鉬+不銹鋼(gang) |
|
機械(xie)泵抽氣速率[m3/h] |
200 |
300 |
|
羅茨泵抽氣速率[m3/h] |
500 |
1000 |
|
機械泵(beng)抽氣速率（可(ke)選）[m3/h] |
300 |
300 |
|
羅茨泵抽氣速率 （可選）[m3/h] |
1000 |
1000 |
|
擴散泵(beng)抽氣速率（可選）[L/sec] |
10000 |
10000 |
|
維持(chi)泵抽氣速率（可選）[m3/h] |
4 |
32 |
|
控制(zhi)系統 |
||
|
總連接負荷(he)[kVA] |
190 |
290 |
|
氣冷(leng)風機負荷[kW] |
115 |
75 |
|
最小水(shui)壓[bar] |
3.5 |
2.75 |
|
最大水(shui)流量(liang)[m3/h] |
40 |
50 |
|
溫度(du)均(jun)勻性[℃] |
正(zheng)負(fu)5度 |
正負(fu)5度 |