Services
|
技術參數 |
||
|
工作溫度(du)[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
|
最高(gao)淬(cui)火(huo)壓力(絕對值) |
12 |
1.9 |
|
工作真空度范圍(wei)[mbar] |
||
|
低真空 |
10-1 |
10-1 |
|
高真空 |
10-4 |
10-5 |
|
有效工作區(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
|
最大裝爐量(liang)[kg] |
800 |
1350 |
|
加熱元件材料 |
石墨 |
鉬 |
|
隔熱層 |
特殊石墨(mo)氈，可選擇覆(fu)蓋CFC |
鉬+不銹鋼 |
|
機械泵抽(chou)氣速率[m3/h] |
200 |
300 |
|
羅茨泵抽(chou)氣速率[m3/h] |
500 |
1000 |
|
機(ji)械泵抽(chou)氣速率(lv)（可(ke)選）[m3/h] |
300 |
300 |
|
羅茨泵抽氣速(su)率(lv) （可選）[m3/h] |
1000 |
1000 |
|
擴散泵(beng)抽氣速率（可選）[L/sec] |
10000 |
10000 |
|
維(wei)持泵(beng)抽氣速率（可選）[m3/h] |
4 |
32 |
|
控制(zhi)系統 |
||
|
總連接負荷[kVA] |
190 |
290 |
|
氣(qi)冷風機負荷(he)[kW] |
115 |
75 |
|
最小(xiao)水壓[bar] |
3.5 |
2.75 |
|
最大水(shui)流量[m3/h] |
40 |
50 |
|
溫度均勻(yun)性(xing)[℃] |
正負5度 |
正負5度 |