服務
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技術參(can)數 |
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工作溫度[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
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最(zui)高淬火(huo)壓(ya)力(絕(jue)對(dui)值) |
12 |
1.9 |
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工作真空(kong)度范圍[mbar] |
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低真空 |
10-1 |
10-1 |
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高真(zhen)空 |
10-4 |
10-5 |
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有效工(gong)作區(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
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最大裝爐量[kg] |
800 |
1350 |
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加熱元件材(cai)料(liao) |
石(shi)墨 |
鉬 |
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隔熱層(ceng) |
特(te)殊石墨氈，可(ke)選擇覆蓋CFC |
鉬+不(bu)銹(xiu)鋼 |
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機械泵抽氣速率(lv)[m3/h] |
200 |
300 |
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羅茨泵抽氣(qi)速率[m3/h] |
500 |
1000 |
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機(ji)械泵抽(chou)氣速率（可(ke)選）[m3/h] |
300 |
300 |
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羅茨泵抽氣速率 （可選(xuan)）[m3/h] |
1000 |
1000 |
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擴散泵抽氣速率（可(ke)選）[L/sec] |
10000 |
10000 |
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維(wei)持泵抽(chou)氣(qi)速率（可選）[m3/h] |
4 |
32 |
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控制系統 |
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總連接(jie)負荷[kVA] |
190 |
290 |
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氣冷風機(ji)負(fu)荷[kW] |
115 |
75 |
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最小水壓[bar] |
3.5 |
2.75 |
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最(zui)大水流量[m3/h] |
40 |
50 |
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溫度均勻性(xing)[℃] |
正負(fu)5度 |
正負5度 |